在加工微小精密零件時(shí)，必須充分考慮到可能使裝配系統(tǒng)產(chǎn)生定位誤差的因素，控制裝配系統(tǒng)的定位精度。

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此外，當(dāng)前獲得復(fù)雜微小精密零件的超精密加工方法主要有兩種，一種是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)(MEMS)，另外一種是從傳統(tǒng)機(jī)械制造技術(shù)發(fā)展而來(lái)的微細(xì)制造技術(shù)。
無(wú)論采用哪種技術(shù)，都需要先進(jìn)的測(cè)量裝置及方法，因?yàn)榱慵庸ぞ鹊奶岣邔?duì)測(cè)量水平的提高具有嚴(yán)格的依賴(lài)性。
微小精密零件在結(jié)構(gòu)形式、構(gòu)件材料和加工工藝等方面具有以下特點(diǎn)：
構(gòu)成材料主要是金屬、合金或者復(fù)合材料等非硅材料，這些材料具有優(yōu)秀的機(jī)械特性，如高強(qiáng)度、高硬度、耐磨損、抗過(guò)載、耐高溫或耐腐蝕等，能在惡劣工況條件下正常工作。
微小精密零件廣泛存在于各種微小型系統(tǒng)，包括框架、壁、腔體、軸、槽、輪、孔系等多種結(jié)構(gòu)形式，市場(chǎng)需求量大。
指整體尺度在毫米級(jí)，很難利用常規(guī)方法加工的小型零件。
以準(zhǔn)三維或三維的立體結(jié)構(gòu)為主的結(jié)構(gòu)形式，深寬比高或長(zhǎng)徑比大。
結(jié)構(gòu)復(fù)雜，空間緊湊，各個(gè)部件之間存在確定的連接、傳動(dòng)或裝配關(guān)系，對(duì)形狀和位置的精度要求非常高，對(duì)于零件表面的精密度要求較低，不一定要納入納米級(jí)別。